板状缺陷和{311}缺陷相关硕士博士期刊学术论文

高剂量气体离子注入单晶Si会在材料内部产生各种损伤，如气泡、板状缺陷、空腔、非晶化，经退火处理后还可以导致表面发泡、剥离等表面......